| 激光微加工变焦系统的控制算法研究 |
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| 引用本文： | 王震,陈涛. 激光微加工变焦系统的控制算法研究[J]. 精密制造与自动化, 2010, 0(1): 9-12,19 |
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| 作者姓名： | 王震 陈涛 |
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| 作者单位： | 北京工业大学激光工程研究院,100124 |
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| 摘 要： | 提出了一种应用于激光微加工的变焦系统控制的算法。综合利用插补算法和变焦方程，使变焦系统中各运动镜头组获得相应的线性或非线性精确位移。并且控制运动镜头组以合理和稳定的速度移动。保证了通过掩模板的准分子激光光斑的连续和稳定的变化。变焦系统可以不更换掩模板而刻蚀出大小连续变化，形状相似的复杂结构。提高了准分子激光微加工的复杂度和分辨率。
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| 关 键 词： | 激光微加工 变焦距系统控制 插补算法 变焦方程 |
Research on Algorithms for Zoom Control of Laser Micro-Processing |
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| WANG Zhen,CHEN Tao. Research on Algorithms for Zoom Control of Laser Micro-Processing[J]. Precise Manafacturing & Automation, 2010, 0(1): 9-12,19 |
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| Authors: | WANG Zhen CHEN Tao |
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