| 自溯源型MOEMS加速度计谐振子设计仿真研究 |
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| 作者姓名： | 常郅坤 张婉怡 沈箫雨 牟群 韩晓玲 宋松 牛鹏飞 邓晓 程鑫彬 |
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| 作者单位： | 1. 同济大学精密光学工程技术研究所;2. 先进微结构材料教育部重点实验室;3. 上海市数字光学前沿科学研究基地;4. 上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台;5. 同济大学物理科学与工程学院;6. 苏州大学物理科学与技术学院;7. 浙江水利水电学院基础教学部;8. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划项目（2022YFF0607600、2022YFF0605502）；;国家自然科学基金面上项目（62075165）； |
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| 摘 要： | MOEMS加速度计是加速度传感器未来的发展趋势之一，光学位移检测手段是决定测量精度的核心因素，与之配套的谐振子设计、匹配关系是充分发挥其性能的关键要素。自溯源光栅干涉仪是一种超精密位移测量方法，具有测量直接溯源、精度高、小型化等优势，非常契合MOEMS加速度计的位移测量需求。结合自溯源光栅干涉仪特性，计算、设计并仿真了自溯源型MOEMS加速度计谐振子。基于谐振子力学理论模型，计算了谐振子刚度和固有频率，采用COMSOL软件仿真了谐振子谐振模态、不同轴向的灵敏度与应力分布，设计了位移灵敏度高达10.01μm/g，同时具有超低横向串扰的谐振子，对直接溯源型高精度加速度测量方案的技术研发与性能优化具有重要意义。
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| 关 键 词： | 计量学 MOEMS加速度计 自溯源光栅干涉仪 谐振子 COMSOL有限元仿真 固有频率 灵敏度 应力分布 |
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