铝铜薄膜铜元素含量标准物质研究

研制了一种X射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质，使用电子探针对研制的铝铜薄膜铜元素含量标准物质进行均匀性、稳定性检验，使用电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）对标准物质的铜元素含量（wt%）进行了定值，分析了名义值为49.5%的铝铜薄膜标准物质铜元素含量的不确定度来源，评定了标准物质的不确定度。研究结果表明：标准物质样品具有良好的均匀性和稳定性，标准物质的铜元素含量标准值为49.46 wt%，扩展不确定度为0.98 wt%(k=2)。研制的X射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质，满足了X射线能谱仪/波谱仪定量分析过程中的校准需求，填补了X射线能谱仪/波谱仪校准用标准物质的国内空白，为我国科研产业的铜元素含量定量分析提供了量值保障和技术支撑。