用溶胶—凝法制备锆钛铅铁电薄膜:1994年7月1日收到,8月20日修回 |
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引用本文: | 阎培渝,苏涛.用溶胶—凝法制备锆钛铅铁电薄膜:1994年7月1日收到,8月20日修回[J].高技术通讯,1995,5(6):43-46. |
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作者姓名: | 阎培渝 苏涛 |
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摘 要: | 利用溶胶-凝胶法在镀铂硅片上制备了PZT铁电薄膜,利用XRD、SEM和TEM观察了PZT薄膜的组成与形貌,测定了PZT薄膜的电学性能。防防止薄膜发生龟裂,在前体溶液中加入了干燥控制化学添加剂,并采用慢速变温的热处理过程,PbTiO3过渡层保证了PZT薄膜晶完好。
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关 键 词: | 溶胶-凝胶法 铁电薄膜 锆钛铅铁电薄膜 |
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