| 隧道式硅微加速度计的设计和制作 |
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| 引用本文： | 贺玲,薛大同,雷军刚,郝一龙,董海峰. 隧道式硅微加速度计的设计和制作[J]. 传感器与微系统, 2003, 22(12): 25-28 |
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| 作者姓名： | 贺玲 薛大同 雷军刚 郝一龙 董海峰 |
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| 作者单位： | 1. 中国空间技术研究院,兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000
2. 北京大学,微电子学研究所,北京,100871 |
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| 基金项目： | 国防科技重点实验室基金项目(99JS97.1.2.HT6001) |
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| 摘 要： | 针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计。在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工艺,由该工艺制作的第一批器件成功地观测到隧道效应。
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| 关 键 词： | 隧道效应 微加速度计 加工工艺 |
| 文章编号： | 1000-9787(2003)12-0025-04 |
| 修稿时间： | 2003-06-23 |
Design and fabrication of the tunneling silicon micro-accelerometer |
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| HE Ling,XUE Da-tong,LEI Jun-gang,HAO Yi-long,DONG Hai-feng. Design and fabrication of the tunneling silicon micro-accelerometer[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2003, 22(12): 25-28 |
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| Authors: | HE Ling XUE Da-tong LEI Jun-gang HAO Yi-long DONG Hai-feng |
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| Affiliation: | HE Ling~1,XUE Da-tong~1,LEI Jun-gang~1,HAO Yi-long~2,DONG Hai-feng~2 |
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| Abstract: | A tunneling micro-accelerometer has been developed for the high sensitivity to the displacement. Based on the structure and operation principle of the tunneling micro-accelerometer, a new fabrication (technology) is introduced. The tunneling is observed from the first batch productions fabricated by the (technology.) |
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| Keywords: | tunneling micro-accelerometer fabrication technology |
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