| 扫描探针声显微镜原理及其应用 |
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| 引用本文： | 占左玲,刘世国,蔡微,徐平. 扫描探针声显微镜原理及其应用[J]. 电子显微学报, 2008, 27(2): 167-171 |
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| 作者姓名： | 占左玲 刘世国 蔡微 徐平 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学,理学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | 将声学检测技术与扫描探针显微术相结合,构成的扫描探针声显微镜,不仅可以检测材料表面、亚表面和内部的微小缺陷,还可以分析样品的弹性特性、电特性等物理性能,同时还具有分辨率高的特点,在材料科学和生命科学等领域具有很高的应用价值.目前,得到实际应用的扫描探针声显微镜主要有扫描隧道声显微镜和原子力声显微镜.本文介绍了这两类显微镜的基本工作原理,并对扫描探针声显微镜今后的发展方向进行了探讨.
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| 关 键 词： | 扫描探针声显微镜 扫描隧道声显微镜 原子力声显微镜 扫描探针显微术 声显微镜 工作原理 应用 microscope acoustic probe scanning application 方向 发展 原子力 扫描隧道 价值 生命科学 材料科学 分辨率 物理性能 电特性 弹性特性 |
| 文章编号： | 1000-6281(2008)02-0167-05 |
| 修稿时间： | 2007-07-05 |
Principle and application of scanning probe acoustic microscope |
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| ZHAN Zuo-ling,LIU Shi-guo,CAI Wei,XU Ping. Principle and application of scanning probe acoustic microscope[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2008, 27(2): 167-171 |
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| Authors: | ZHAN Zuo-ling LIU Shi-guo CAI Wei XU Ping |
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| Affiliation: | ZHAN Zuo-ling,LIU Shi-guo,CAI Wei,XU Ping(School of Science,Beihang University,Beijing 100083,China) |
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| Abstract: | Scanning probe acoustic microscope(SPAM)combines acoustic detection technique with scanning probe microscopy(SPM),it can not only get the topography and sub-surface structure information,but also elastic properties and defects of the materials at nanometer resolution.It will be widely used in life and material sciences.Currently scanning probe acoustic microscope includes scanning tunneling acoustic microscope(STAM)and atomic force acoustic microscope(AFAM).This paper introduced its principle and applicatio... |
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| Keywords: | scanning probe acoustic microscope scanning tunneling acoustic microscope atomic force acoustic microscope |
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