匹配In0.53Ga0.47As/InP量子阱材料的GSMBE生长及特性分析 |
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作者姓名: | 王晓亮 孙殿照 |
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作者单位: | 中国科学院半导体研究所 |
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摘 要: | 在国产CBE设备上,用GSMBE方法首次在国内成功地生长出了具有不同阱宽(1 ̄18nm)的高质量的In0.53Ga0.47As/InP匹配量子阱结构材料,低温光致发光谱测试结果表明:量子阱材料发光谱峰强且锐,每个阱的激子跃迁峰清晰可辨,当阱宽大于6nm时,阱中激子跃迁能量的实验值与理论计算值符合得很好;当阱宽小于6nm时,实验值小于理论值;对阱宽相同的窄阱而言,我们样品的实验值高于Tsang的实验
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关 键 词: | 匹配量子阱材料 GSMBE生长 光电子器件 |
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