真空微电子三级管直流特性及栅阴极电容的计算机模拟 |
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引用本文: | 秦明,黄庆安.真空微电子三级管直流特性及栅阴极电容的计算机模拟[J].半导体学报,1997,18(8):616-620. |
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作者姓名: | 秦明 黄庆安 |
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作者单位: | 东南大学微电子中心 |
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摘 要: | 本利用有限差分方法计算了真空微电子三极管中的电势与电场分布,研究了尖端顶部的电场受尖端曲率半径及栅圆坏直径的影响情况,并模拟计算了该管的静态输出特性。另外通过改变尖锥及栅圆环的参数,详细研究了栅阴电容的变化情况,该模拟结果与已报道的实验结果符合较好。
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关 键 词: | 真空 微电子三极管 栅阴极电容 模型 |
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