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| 磁控溅射功率对掺铝氧化锌薄膜特性的影响 | |
| 引用本文： | 肖立娟,李长山,郝嘉伟,赵鹤平.磁控溅射功率对掺铝氧化锌薄膜特性的影响[J].新材料产业,2012(3):59-62. |
| 作者姓名： | 肖立娟 李长山 郝嘉伟 赵鹤平 |
| 作者单位： | 吉首大学物理与机电工程学院 |
| 基金项目： | 湖南省研究生科研创新项目（CX2011B399）; 湖南省自然科学基金（09JJ6011）; 湖南省高等学校科研基金（08A055） |
| 摘 要： | 透明导电氧化物（TCO）薄膜因具有在可见光区透明和电阻率低等优异的光电性能,所以被广泛应用于各种光电器件中,例如平面液晶显示器（LCD）、太阳能电池、节能视窗等1-2]。目前应用和研究最多的是掺锡（Sn）、 |
| 关 键 词： | 薄膜特性 掺铝氧化锌 溅射功率 透明导电氧化物 平面液晶显示器 磁控 太阳能电池 光电性能 |
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