工件面形的精确测量仿真 |
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引用本文: | 易亨瑜,胡晓阳,陈门雪,王文东,郑为民.工件面形的精确测量仿真[J].红外与激光工程,2008(Z1). |
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作者姓名: | 易亨瑜 胡晓阳 陈门雪 王文东 郑为民 |
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作者单位: | 中国工程物理院应用电子学研究所 |
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摘 要: | 对于高精度加工,工件的微小面形偏差的精确测量非常重要。比较了微小面形的两类光学测量仪器,重点介绍了瞬态干涉测量方法。分析了干涉测试中相位展开方式,并将其应用于工件面形的测量中,用单张干涉图实现干涉波前的恢复,获取工件的面形信息。利用GLAD软件进行仿真,模拟了干涉仪对工件面形测量得到的波面干涉条纹图,并利用相位展开方法,读入干涉图样,进行工件的面形重构,获得了初步的仿真测量结果。对比了波面重构前后的工件面形,分析了重构面形失真的原因。
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关 键 词: | 光学测量 相位展开 条纹跟追 相移 干涉测量 |
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