| LaBaCo_2O_(5+δ)薄膜的电输运及氧敏性质研究 |
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| 引用本文： | 洪敦华,高敏,黄振龙,张胤,林媛.LaBaCo_2O_(5+δ)薄膜的电输运及氧敏性质研究[J].电子元件与材料,2014(12):33-36. |
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| 作者姓名： | 洪敦华 高敏 黄振龙 张胤 林媛 |
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| 作者单位： | 电子科技大学 微电子与固体电子学院电子薄膜和集成器件国家重点实验室,四川 成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家教育部科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用高分子辅助沉积法制备了Si基La BaCo2O5+δ(LBCO)薄膜,主要研究了Si基LBCO薄膜的电输运性质及氧敏性质。通过对LBCO薄膜的电输运性质研究,发现LaBaCo2O5+δ薄膜的激活能Ea为0.32 e V,远小于同类体材料PrBaCo2O5+δ激活能(Ea=0.67 e V),说明将材料薄膜化以后,有利于降低材料的激活能;此外,LBCO薄膜阻-温曲线满足小极化子热激化跳跃理论,证明该材料的导电机制是小极化子电子电导。氧敏性质研究发现,在较低的温度356℃下,当测试气体从氢气切换到氧气时,薄膜电阻从3×105Ω迅速下降到4.5×102Ω(ΔR≈3.0×105Ω),响应时间为4.2 s,说明在较低温度下,LBCO薄膜对氧气具有较高的敏感度。同时,发现LBCO薄膜材料导电能力并不与氧气的浓度成正比。
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| 关 键 词： | 薄膜 高分子辅助沉积法 LBCO 小极化子 电输运性质 氧敏性质 |
Electrical transport and oxygen sensitive properties of LaBaCo2O5+δthin film |
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| HONG Dunhua
,
GAO Min
,
HUANG Zhenlong
,
ZHANG Yin
,
LIN Yuan.Electrical transport and oxygen sensitive properties of LaBaCo2O5+δthin film[J].Electronic Components & Materials,2014(12):33-36. |
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| Authors: | HONG Dunhua GAO Min HUANG Zhenlong ZHANG Yin LIN Yuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin films polymer-assisted deposition technique LBCO small polaron electrical transport property oxygen sensitive property |
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