| Pt-W03薄膜气敏传感器的气敏性能研究 |
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| 引用本文： | 李昌青,胡明,尹英哲,马晋毅,冯有才,陈鹏.Pt-W03薄膜气敏传感器的气敏性能研究[J].压电与声光,2008,30(6). |
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| 作者姓名： | 李昌青 胡明 尹英哲 马晋毅 冯有才 陈鹏 |
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| 摘 要： | 用直流反应磁控溅射法制备了Pt-WO3气敏薄膜,进行了薄膜晶体结构和表面形貌的分析,研究了添加Pt对WO3电学和气敏特性的影响.实验证明:当Pt膜厚为4 nm时,WO3薄膜对气体的敏感特性得到改善,对(∮)(NO2)=5和(∮)(NH3)=10×10-6的工作温度均降低了50℃,灵敏度分别达到11.5和900,是纯WO3薄膜的2～3倍,且响应时间缩短.
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| 关 键 词： | 直流反应磁控溅射 添加 响应时间 灵敏度 |
Research on Sensing Properties of Pt-WO3 Thin Film Gas Sensors |
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| LI Chang-qing,HU Ming,YUN Yong-cho,MA Jin-yi,FENG You-cai,CHEN Peng.Research on Sensing Properties of Pt-WO3 Thin Film Gas Sensors[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2008,30(6). |
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| Authors: | LI Chang-qing HU Ming YUN Yong-cho MA Jin-yi FENG You-cai CHEN Peng |
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