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| 智能化非接触精密二维光电测量系统的研究 | |
| 引用本文： | 沈兰荪,陈岭丽,孙葆根.智能化非接触精密二维光电测量系统的研究[J].电子测量与仪器学报,1990(1). |
| 作者姓名： | 沈兰荪 陈岭丽 孙葆根 |
| 作者单位： | 中国科技大学 教授(沈兰荪)，中国科技大学 讲师(陈岭丽，孙葆根) |
| 摘 要： | 本文以不规则轮廓与各种角度的测量为目的,进行了智能化非接触精密二维光电测量系统的研究,提出采用线阵CCD器件、计量园光栅、步进电机与个人计算机构成系统.系统采用最小二乘拟合莫尔条纹信号细分法提高光栅角位移测量精度,采用解调细分法提高OCD测失径的精度,论文给出了理论分析与相应的实验结果。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |