ＢＣＢ砂轮ＥＬＩＤ磨削单晶硅工艺实验研究

ＥＬＩＤ磨削主要采用铸铁结合剂砂轮，但是该砂轮在使用过程中有明显的弊端，如砂轮难以制造，价格也比较高，且无法保证加工表面的清洁度．将新型环保型竹炭结合剂砂轮（ＢＣＢ砂轮）与ＥＬＩＤ磨削技术相结合，可开发一种使用简便、制作简易、并且可以达到优良的加工表面质量的新型超精密加工方法与技术．通过ＢＣＢ砂轮进行单晶硅ＥＬＩＤ磨削工艺实验，研究磨削参数对单晶硅ＥＬＩＤ磨削表面质量，切向磨削力的影响．实验结果显示：ＢＣＢ砂轮进行单晶硅ＥＬＩＤ磨削加工过程中磨削性能良好，可获得高效率、高质量表面加工效果．