磁悬浮分子泵转子振动抑制研究

磁悬浮分子泵具有工作转速高、转子极转动惯量大等特点，针对磁悬浮分子泵转子在升速过程中出现的弯曲模态振动以及涡动模态振动，提出了一种基于滤波交叉反馈与陷波器的大转动惯量磁悬浮转子控制方法。建立磁悬浮轴承-大转动惯量刚性转子系统数学模型，求解得出转子涡动模态频率，根据该模型分析了滤波交叉反馈控制器对涡动模态振动的抑制效果，并且设计了陷波器用于抑制不同转速下的转子弯曲模态振动。试验结果表明，磁悬浮分子泵稳定升速至工作转速18 000 r/min,转子振动位移为35μm,弯曲模态振动以及涡动模态振动得到了有效抑制。