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| 化学气相沉积法制备智能窗用热致变色VO2薄膜的研究进展 | |
| 作者姓名： | 鲍可 李西军 |
| 作者单位： | 1. 西湖大学先进微纳加工与测试平台;2. 浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室;3. 西湖大学芯片数字化生产技术研究中心 |
| 摘 要： | 热致变色智能窗是通过在玻璃上沉积温度刺激响应型材料,实现根据环境温度调控窗户玻璃的太阳光透过率,减少建筑物能耗的节能窗户。二氧化钒(VO2)是一种典型的热致相变材料,在～68℃发生金属-绝缘体相变,相变前后伴随光学性能的显著变化,在智能窗等多个领域有潜在的技术应用。然而,当前VO2基热致变色智能窗的应用仍存在着相变温度(τc)偏高、可见光透过率(Tlum)低和太阳能调节效率(ΔTsol)不足等问题,无法满足实际建筑节能的需求。为了解决这些问题,研究人员开展了广泛而深入的工作。化学气相沉积法(Chemical vapor deposition, CVD)能够以合理的成本生产高质量、大面积的VO2薄膜,受到研究者青睐。本文总结了近年来利用CVD技术制备VO2薄膜的研究进展,系统介绍常压化学气相沉积、气溶胶辅助化学气相沉积、低压化学气相沉积、金属有机物化学气相沉积、原子层沉积和等离子体增强化学气相沉积等CVD工艺,分析了反应物种类及比例、反... |
| 关 键 词： | 二氧化钒 热致变色 智能窗 化学气相沉积 薄膜 综述 |