微型驱动器及其测试技术 |
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引用本文: | 许红平,葛成立,陈刚.微型驱动器及其测试技术[J].福建电脑,2002(5):6-7. |
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作者姓名: | 许红平 葛成立 陈刚 |
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作者单位: | 1. 浙江广播电视大学萧山学院,31120 2. 浙江火电建设公司,310016 3. 浙江工业大学机电工程学院,310032 |
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摘 要: | 微驱动器是微型机电系统的关键部分。本文讨论了微驱动器中的微静电马达、微电磁马达、超声波马达、压电微驱动器、形状记忆合金微驱动器,并介绍了微驱动器的测试技术。
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关 键 词: | 微马达 形状记忆合金 微型驱动器 测试技术 |
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