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微型驱动器及其测试技术
引用本文:许红平,葛成立,陈刚.微型驱动器及其测试技术[J].福建电脑,2002(5):6-7.
作者姓名:许红平  葛成立  陈刚
作者单位:1. 浙江广播电视大学萧山学院,31120
2. 浙江火电建设公司,310016
3. 浙江工业大学机电工程学院,310032
摘    要:微驱动器是微型机电系统的关键部分。本文讨论了微驱动器中的微静电马达、微电磁马达、超声波马达、压电微驱动器、形状记忆合金微驱动器,并介绍了微驱动器的测试技术。

关 键 词:微马达  形状记忆合金  微型驱动器  测试技术
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