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| 籽晶类型对高效多晶硅铸锭质量的影响 | |
| 作者姓名： | 刘世龙 周耐根 刘淑慧 |
| 摘 要： | 在相同的炉台、坩埚和铸锭条件下,对比研究了半圆柱形致密原生多晶硅棒料和多晶硅颗粒料作为籽晶对高效多晶硅铸锭质量的影响.通过光致发光(PL)图、少数载流子寿命、化学金相腐蚀等方式分析了两种籽晶下铸锭的质量.结果 表明:致密原生多晶硅棒料作为籽晶具有一定的形核优势,尾料底部没有空洞,晶粒垂直性、晶粒均匀性相对较好;少数载流... |
| 关 键 词： | 籽晶 多晶硅 少子寿命 位错密度 |
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