荧光X射线基本参数法测定钛膜厚度

荧光X射线基本参数法既具有荧光X射线的优点,也具有基本参数法的特点.既不使用标准样品,也不绘制标准曲线.只用一个“无穷厚”样品,运用基本参数公式,采用“LAMA”程序,通过电子计算机的计算来完成.本文介绍了用这种方法来测定钛膜厚度.它包括理论依据及计算方法、实验验证、分析讨论.本方法测量稳定、数据可靠、实用、先进.在膜厚为100—1000(?)的范围内,绝对误差小于60(?),平均相对误差在6%以内.给出了厚度在100—1,000(?)、1,000—10,000(?)、10,000—100,000(?)范围内的厚度和对应的强度比之值,以供参考使用.类似的纯元素薄膜,包括电镀层的厚度测定,也可采用本法.