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| 混合式PtSi—SBIRFPA的进展 | |
| 引用本文： | 程开富.混合式PtSi—SBIRFPA的进展[J].四川真空,1997(1):29-33. |
| 作者姓名： | 程开富 |
| 摘 要： | 着重介绍混合式硅化铂肖特基势垒红外焦平面阵列（ＨＰｔＳｉ－ＳＢＩＲＦＰＡ）的典型结构和现状。 |
| 关 键 词： | 硅化铂 肖特基势垒 传感器 红外焦平面阵列 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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