| 阴极蒸发动态测试研究 |
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| 引用本文： | 阴生毅,张洪来,王宇,刘燕文,田宏,张明晨,李玉涛,丁耀根.阴极蒸发动态测试研究[J].真空科学与技术学报,2006,26(1):70-73. |
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| 作者姓名： | 阴生毅 张洪来 王宇 刘燕文 田宏 张明晨 李玉涛 丁耀根 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所,北京,100080 |
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| 摘 要： | 为了实现阴极蒸发定量测量,本文发展了一种基于石英晶体振荡原理的动态测试方法.研究表明,在选用高质量石英晶振片和对其进行强制冷却的情况下,既使晶振片近距离承受阴极的高温热辐射,晶振片频率降低趋势仍与阴极蒸发物增加的趋势保持良好的一致性,将单位时间的频率降低量代入公式计算,便可获得阴极蒸发的动态速率.与静态方法相比,这一方法可以提供阴极在蒸发之初的关键信息,因而可以更好地用于指导低蒸发覆膜钡钨阴极的制备.
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| 关 键 词： | 覆膜钡钨阴极 蒸发 石英晶体振荡法 动态测量 |
| 文章编号： | 1672-7126（2006）01-070-04 |
| 收稿时间： | 2005-08-05 |
| 修稿时间： | 2005年8月5日 |
Study of Dynamic Measurement of Cathode Evaporation |
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| Yin Shengyi,Zhang Honglai,Wang Yu,Liu Yanwen,Tian Hong,Zhang Mingchen,Li Yutao,Ding Yaogen.Study of Dynamic Measurement of Cathode Evaporation[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2006,26(1):70-73. |
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| Authors: | Yin Shengyi Zhang Honglai Wang Yu Liu Yanwen Tian Hong Zhang Mingchen Li Yutao Ding Yaogen |
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| Affiliation: | The institute of electronics, Chinese academy of sciences, Beijing 100080, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | M impregnated cathode Evaporation Quartz crystal oscillation Dynamic measurement |
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