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| 掺杂对类金刚石薄膜性能的影响 | |
| 引用本文： | 王立达,刘贵昌,邓新绿.掺杂对类金刚石薄膜性能的影响[J].材料导报,2004,18(Z2):310-312,316. |
| 作者姓名： | 王立达 刘贵昌 邓新绿 |
| 作者单位： | 1. 大连理工大学化工学院,大连,116012 2. 大连理工大学三束改性国家重点实验室,大连,116012 |
| 摘 要： | 类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性.为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化.总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响. |
| 关 键 词： | 类金刚石(DLC) 掺杂 改性 性能 |
Influence of Dopant on Properties of Diamond-like Carbon Films |
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