掺杂对类金刚石薄膜性能的影响 |
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引用本文: | 王立达,刘贵昌,邓新绿. 掺杂对类金刚石薄膜性能的影响[J]. 材料导报, 2004, 18(Z2): 310-312,316 |
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作者姓名: | 王立达 刘贵昌 邓新绿 |
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作者单位: | 1. 大连理工大学化工学院,大连,116012 2. 大连理工大学三束改性国家重点实验室,大连,116012 |
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摘 要: | 类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性.为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化.总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响.
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关 键 词: | 类金刚石(DLC) 掺杂 改性 性能 |
Influence of Dopant on Properties of Diamond-like Carbon Films |
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