| 基于FR-4的电磁驱动微扫描镜研究 |
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| 引用本文： | 郭向楠,苑伟政,王军平,虞益挺,孟庆超,乔大勇. 基于FR-4的电磁驱动微扫描镜研究[J]. 航空兵器, 2017, 0(4). DOI: 10.19297/j.cnki.41-1228/tj.2017.04.013 |
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| 作者姓名： | 郭向楠 苑伟政 王军平 虞益挺 孟庆超 乔大勇 |
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| 作者单位： | 1. 中国空空导弹研究院,河南 洛阳,471009;2. 西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室,西安 710072;西北工业大学 陕西省微/纳米系统重点实验室,西安 710072 |
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| 摘 要： | 设计一种基于FR-4材料的电磁驱动微扫描镜,进行了有限元仿真,并利用标准PCB技术制作了器件。测试结果表明,器件具有约0.015(°)/m A的静态转角,在50~500 Hz驱动频率下光学转角始终大于±2°,在360 Hz处达到最大±34.18°,同时反馈电压与扫描角度具有良好的线性关系。器件通过了高低温及寿命试验,其可靠性得到了验证。
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| 关 键 词： | FR-4 微扫描镜 电磁驱动 有限元仿真 性能测试 |
Research of Electromagnetic Actuated Micro Scanning Mirror Based on FR-4 |
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| Guo Xiangnan,Yuan Weizheng,Wang Junping,Yu Yiting,Meng Qingchao,Qiao Dayong. Research of Electromagnetic Actuated Micro Scanning Mirror Based on FR-4[J]. Aero Weaponry, 2017, 0(4). DOI: 10.19297/j.cnki.41-1228/tj.2017.04.013 |
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| Authors: | Guo Xiangnan Yuan Weizheng Wang Junping Yu Yiting Meng Qingchao Qiao Dayong |
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