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| 退火对硫化后的P+ 型InP表面性能的影响 | |
| 引用本文： | 庄春泉,汤英文,龚海梅.退火对硫化后的P+ 型InP表面性能的影响[J].激光与红外,2005,35(11). |
| 作者姓名： | 庄春泉 汤英文 龚海梅 |
| 作者单位： | 中科院上海技术物理研究所红外传感技术国家重点实验室,上海200083 |
| 摘 要： | 文章采用光致发光( PL)测试和X射线光电能谱(XPS)测试相结合的方法,对硫化前后P+型InP的PL光谱以及表面化学成分进行了分析,得到了退火对硫化过的InP表面性能的影响结果;同时得到了S在InP表面所成键的结构以及稳定性随温度的变化的情况。 |
| 关 键 词： | 光致发光 X射线光电子能谱 硫化 |
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