多晶硅生产中废气处理探析

多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料，随着我国太阳能产业的快速发展，多晶硅的需求量也与日俱增。介绍了多晶硅的用途、分类，生产工艺进展，废气和残液的处理过程及缺点，指出了一种废气处理的新工艺。