| 中阶梯光栅铝膜的大压深纳米压痕试验 |
| |
| 引用本文： | 石广丰,史国权,徐志伟,刘哲,蔡洪彬,张宝庆. 中阶梯光栅铝膜的大压深纳米压痕试验[J]. 机械工程学报, 2012, 48(20): 42-47 |
| |
| 作者姓名： | 石广丰 史国权 徐志伟 刘哲 蔡洪彬 张宝庆 |
| |
| 作者单位： | 长春理工大学机电工程学院 长春 130022 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，吉林省科技发展计划，长春理工大学科技创新基金，青年科学基金 |
| |
| 摘 要： | 为研究光栅铝膜在机械刻划深度范围内的弹塑性变形特征,通过纳米压痕仪的Berkovich压头对现有79 g/mm中阶梯光栅铝膜进行大压深连续纳米压痕试验测试。按10 s-10 s的加-卸载方式进行压深步0.5μm、最大压深5.0μm、每个压痕步重复6次的连续压痕试验,获得整个压深尺度范围内弹性模量、硬度、最大回弹量、等效回弹锥角和回弹系数随压深的变化规律。光栅镀铝膜层材料的弹性模量、硬度在浅表层体现出较强尺寸效应,同时在镀铬过渡层和玻璃基底综合效应的影响下出现"拐点"极值;残余压痕的最大回弹量随压深近似线性增加,但是相对压深的回弹量、等效回弹锥角和回弹系数均随压深减小,这表明光栅铝膜在机械刻划深度范围内的回弹性能受压入深度的影响较大。这对于认识现有中阶梯光栅镀铝膜层材料的力学性能并改进镀膜工艺具有重要意义。
|
| 关 键 词： | 中阶梯光栅 铝膜 纳米压痕 尺寸效应 基底效应 回弹 |
Large Depth Nanoidentation Experiment of Echelle Grating Aluminum |
| |
| SHI Guangfeng , SHI Guoquan , XU Zhiwei , LIU Zhe , CAI Hongbin , ZHANG Baoqing. Large Depth Nanoidentation Experiment of Echelle Grating Aluminum[J]. Chinese Journal of Mechanical Engineering, 2012, 48(20): 42-47 |
| |
| Authors: | SHI Guangfeng SHI Guoquan XU Zhiwei LIU Zhe CAI Hongbin ZHANG Baoqing |
| |
| Affiliation: | (College of Electro-mechanical Engineering, Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
