| 子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿 |
| |
| 引用本文： | 张敏,田伟,彭吉,隋永新,杨怀江.子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿[J].光电子．激光,2013(9):1745-1751. |
| |
| 作者姓名： | 张敏 田伟 彭吉 隋永新 杨怀江 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033 |
| |
| 基金项目： | 国家科技重大专项(2009ZX02205)资助项目 , 田伟1, 彭吉1, 隋永新1, 杨怀江1 (1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033； 2．中国科学院研究生院,北京 100039) |
| |
| 摘 要： | 为减少子孔径拼接干涉检测中机械精度引起的定 位误差对检测结果造成的影响,在一般的调整误差 拼接算法上加入机械定位误差的补偿项,建立了补偿机械误差的综合优化方法。针对参考 面未知的拼接 干涉检测,研究了应用极大似然估计法拟合出用Zernike多项式表示参考面面形分布的方法 ,在除去参考面 面形后采用补偿机械误差的算法拼接。模拟对比实验表明,在相同的机械精度下,机械误 差补偿算法得 到的全口径相位差异分布均方根(RMS)值减少到近一般调整误差 拼接法的1/6,机械误差补偿算法拼接精度高于一般 调整误差拼接法。在搭建的拼接检测装置上检测口径为280mm的平面 镜,与大口径干涉仪检测的全口径相位差异分布的峰谷(PV)值为 0.099λ,R MS值为0.006λ,验证了综合优化方法在重构 参考面面形基础上能有效补偿机械定位误差。
|
| 关 键 词： | 拼接干涉检测 机械定位误差 补偿算法 参考面面形 |
| 收稿时间： | 2012/12/26 0:00:00 |
Mechanical positioning error compensation algorithm for subaperture stitching interferometry |
| |
| ZHANG Min,TIAN Wei,PENG Ji,SUI Yong-xin and YANG Huai-jiang.Mechanical positioning error compensation algorithm for subaperture stitching interferometry[J].Journal of Optoelectronics·laser,2013(9):1745-1751. |
| |
| Authors: | ZHANG Min TIAN Wei PENG Ji SUI Yong-xin and YANG Huai-jiang |
| |
| Affiliation: | State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optic,Fine Me chanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optic,Fine Me chanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optic,Fine Me chanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optic,Fine Me chanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optic,Fine Me chanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | stitching interferometry mechanical positioning errors compensation alg orithm reference wave |
|
| 点击此处可从《光电子．激光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《光电子．激光》下载全文 |
|
