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| Mach-Zehnder型有机极化聚合物电光调制器 | |
| 作者姓名： | 杨晓红 杜云 石志文 吴荣汉 |
| 作者单位： | 中国科学半导体研究所国家光电子工艺中心，北京10003 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);715-002-0030; |
| 摘 要： | 制备了一种以三层聚合物为波导材料的 Mach- Zehnder型电光调制器 ,其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料 .主要制备工艺为 :旋涂制备波导薄膜、电晕极化、光刻和氧反应离子刻蚀 .以 1.3μm和 1.5 5μm半导体激光器为光源 ,以光纤耦合输入脊波导调制器 ,从输出端得到很好单模近场图 ,其中从 Y型两分支波导输出的光强基本相同 .同时在示波器中得到清晰的调制信号 . |
| 关 键 词： | 极化聚合物 MZ波导 电光调制器 |
| 文章编号： | 0253-4177（2001）08-0971-04 |
| 修稿时间： | 2001-01-17 |
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