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光致发光测定6H-SiC中的氮掺杂浓度
摘 要:
杂质和本征发光强度可反映出掺杂浓度。本文介绍了一种测量6H-SiC中氮杂质的校准方法。该方法对于10 ̄(14)~10 ̄(16)cm ̄(-3)浓度范围内的n型掺杂都是有效的。并对光致发光实验过程中激励强度、温度的影响以及与受主有关光谱的观测进行了研究。
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