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全耗尽SOI MOSFET自加热效应的模拟研究
引用本文:朱世敏,侯春良,郭得峰.全耗尽SOI MOSFET自加热效应的模拟研究[J].重庆科技学院学报(自然科学版),2012,14(6):146-148.
作者姓名:朱世敏  侯春良  郭得峰
作者单位:1. 东北大学秦皇岛分校,秦皇岛,066004
2. 燕山大学,秦皇岛,066004
基金项目:国家自然科学基金项目(10804094);秦皇岛市科技研究与发展计划(201101A104)
摘    要:利用Silvaco软件模拟全耗尽SOI n沟道MOSFET器件的自加热效应.在温度300~500K、栅偏压2~10V范围内研究了该器件的ID-VD特性和器件的温度分布规律.在低温和高栅偏压时,SOI结构中自加热效应明显.此现象归因于低温和高栅偏压时,SOI n-MOSFET中的漏电流密度大,热载流子使品格升温迅速.

关 键 词:SOI  Silvaco  模拟  自加热效应

The Simulation and Study of Self-heating Effects in Fully Depleted SOI MOSFETs
ZHU Shimin , HOU Chunliang , GUO Defeng.The Simulation and Study of Self-heating Effects in Fully Depleted SOI MOSFETs[J].Journal of Chongqing University of Science and Technology:Natural Science Edition,2012,14(6):146-148.
Authors:ZHU Shimin  HOU Chunliang  GUO Defeng
Affiliation:1.Qinhuangdao Branch of Northeastern university,Qinhuangdao 066004;2.Yanshan University,Qinhuangdao 066004)
Abstract:
Keywords:
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