| 宽带微波MEMS开关 |
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| 引用本文： | 朱健,林立强,林金庭,吴汉俊,陈新宇. 宽带微波MEMS开关[J]. 固体电子学研究与进展, 2000, 20(4): 456 |
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| 作者姓名： | 朱健 林立强 林金庭 吴汉俊 陈新宇 |
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| 作者单位： | 南京电子器件研究所,210016 |
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| 摘 要： | 南京电子器件研究所最近研制出国内首只宽带微波 MEMS开关 ,在 DC- 2 0 GHz范围内插入损耗、驻波和隔离性能良好。开关设计为一薄金属膜桥组成的内禀式桥式结构 ,在硅衬底上由介质膜、下电极、上金属薄膜、共平面波导传一等组成 ,形成一个 SPST并联设置的金属 -绝缘体 -金属接触开关。开关通过静电力进行控制 ,其插入损耗及隔离性能取决于开态和关态的电容。所研制宽带微波 MEMS开关 ,用 WIL TRON36 0 B网络分析仪进行检测 ,结果是 :DC-2 0 GHz频段插入损耗小于 0 .6 9d B;1 4- 1 8GHz内隔离大于 1 3d B,1 8- 2 0 GHz时隔离大…
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Wideband Microwave MEMS Switch |
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| Zhu jian,Lin liqiang,Lin jinting,Wu hanjun,Chen xinyu. Wideband Microwave MEMS Switch[J]. Research & Progress of Solid State Electronics, 2000, 20(4): 456 |
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| Authors: | Zhu jian Lin liqiang Lin jinting Wu hanjun Chen xinyu |
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