| 射频溅射法制作Y2O2S∶Eu发光薄膜 |
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| 引用本文： | 成建波,李军建,祁康成. 射频溅射法制作Y2O2S∶Eu发光薄膜[J]. 真空科学与技术学报, 2002, 22(3): 202-204 |
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| 作者姓名： | 成建波 李军建 祁康成 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,成都,610054 |
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| 摘 要： | 在钇铝石榴石单晶基片上用射频溅射法制取了Y2 O2 S∶Eu红色发光薄膜。利用正交试验法 ,对溅射气体 (Ar H2 S)中H2 S浓度、退火气氛中SO2 与H2 的比例、退火温度和退火时间等工艺条件进行了优化试验。给出了实验结果并对其进行了讨论。
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| 关 键 词： | Y2O2S∶Eu 发光薄膜 射频溅射 钇铝石榴石 |
| 文章编号： | 0253-9748(2002)03-0202-03 |
| 修稿时间： | 2001-08-16 |
Y2O2S∶Eu Cathodoluminescent Thin Film Deposited by RF-sputtering |
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| Cheng Jianbo,Li Junjian,Qi Kangcheng. Y2O2S∶Eu Cathodoluminescent Thin Film Deposited by RF-sputtering[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2002, 22(3): 202-204 |
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| Authors: | Cheng Jianbo Li Junjian Qi Kangcheng |
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| Abstract: | |
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