高能激光薄膜损伤检测及其制备关键技术

正为了满足特定的光学性能,光学元件表面均需要涂覆薄膜。随着大功率、高能量激光系统的发展,传统光学薄膜的抗激光能力受到了挑战:一是薄膜在强激光作用下是否损伤的评判以及抗损伤能力的测试问题,二是高损伤阈值薄膜的制备问题,目前国内尚没有有效的检测手段和测试设备。西安工业大学研究了激光薄膜损伤阈值的测试标准及规范,发展和丰富了散射法、等离