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纳米晶复合氧化物湿敏元件的特性研究
引用本文:张彤,董玮,徐宝琨,任辉,王兢,刘国范,高鼎三.纳米晶复合氧化物湿敏元件的特性研究[J].材料科学与工程学报,2000,18(Z2):751-754.
作者姓名:张彤  董玮  徐宝琨  任辉  王兢  刘国范  高鼎三
作者单位:吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室,长春,130023
摘    要:利用纳米复合氧化物Ba0.5Sr0.5TiO3材料制作了电阻型湿度敏感元件,对元件进行湿敏特性测试后表明:该元件的阻抗-湿度特性良好,电阻范围适中,湿滞小,不需加热清洗.同时研究了其直流充电-放电特性和交流复阻抗特性,分析了敏感机理.

关 键 词:纳米晶  相对湿度  复阻抗  电介质  极化
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