纳米晶复合氧化物湿敏元件的特性研究 |
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作者姓名: | 张彤 董玮 徐宝琨 任辉 王兢 刘国范 高鼎三 |
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作者单位: | 吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室,长春,130023 |
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摘 要: | 利用纳米复合氧化物Ba0.5Sr0.5TiO3材料制作了电阻型湿度敏感元件,对元件进行湿敏特性测试后表明:该元件的阻抗-湿度特性良好,电阻范围适中,湿滞小,不需加热清洗.同时研究了其直流充电-放电特性和交流复阻抗特性,分析了敏感机理.
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关 键 词: | 纳米晶 相对湿度 复阻抗 电介质 极化 |
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