| 一种新的硅MEMS陀螺仪四相位闭环集成驱动电路 |
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| 引用本文： | 龙善丽,唐兴刚,童紫平.一种新的硅MEMS陀螺仪四相位闭环集成驱动电路[J].微电子学,2016,46(6):792-795. |
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| 作者姓名： | 龙善丽 唐兴刚 童紫平 |
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| 作者单位： | 华东光电集成器件研究所, 江苏 苏州 215163,华东光电集成器件研究所, 江苏 苏州 215163,华东光电集成器件研究所, 江苏 苏州 215163 |
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| 基金项目： | 国家核高基基金资助项目(2014ZX01021101-002) |
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| 摘 要： | 微机械陀螺的闭环驱动电路中通常采用两相位同频信号维持驱动环路谐振,但系统引入误差较大。提出了一种新的硅微机械陀螺四相位驱动系统,将四相位半频驱动电压加载到具有四组驱动电极的结构上,使系统维持在谐振频率上。采用该驱动电路,耦合到输出端的干扰信号为谐振频率的一半,只需采用适当的高通滤波器即可消除干扰信号对输出的污染,同时提高了系统的信噪比。采用0.5 μm CMOS工艺进行设计,版图尺寸约为2.8 mm×2.8 mm,测试结果表明该四相位驱动电路能很好地满足陀螺系统驱动模态维持谐振的要求。
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| 关 键 词： | MEMS陀螺仪 四相位驱动 角速度检测 锁相环 信噪比 |
A Four-Phase Closed-Loop Drive IC for Si MEMS Gyroscope |
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| LONG Shanli,TANG Xinggang and TONG Ziping.A Four-Phase Closed-Loop Drive IC for Si MEMS Gyroscope[J].Microelectronics,2016,46(6):792-795. |
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| Authors: | LONG Shanli TANG Xinggang and TONG Ziping |
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| Affiliation: | East China Institute of Photo-Electronic, Suzhou, Jiangsu 215163, P. R. China,East China Institute of Photo-Electronic, Suzhou, Jiangsu 215163, P. R. China and East China Institute of Photo-Electronic, Suzhou, Jiangsu 215163, P. R. China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS gyroscope Four-phase drive Angular velocity detect PLL Signal to noise rate |
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