| 一种基于MEMS的新型镂空压电悬臂梁能量采集器 |
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| 引用本文： | 罗元,万沙浪,甘如饴,王兴龙.一种基于MEMS的新型镂空压电悬臂梁能量采集器[J].微电子学,2016,46(3):419-423, 428. |
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| 作者姓名： | 罗元 万沙浪 甘如饴 王兴龙 |
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| 作者单位： | 重庆邮电大学 光电工程学院, 重庆 400065,重庆邮电大学 光电工程学院, 重庆 400065,重庆邮电大学 光电工程学院, 重庆 400065,重庆平伟实业股份有限公司, 重庆 405200 |
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| 基金项目： | 重庆光电产业科技支撑示范工程项目(cstc2014zktjccxBX0065) |
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| 摘 要： | 在经典的矩形悬臂梁结构基础上进行改进,设计了一种新型的基板与压电膜镂空的微悬臂梁能量采集器。在悬臂梁基板与压电膜上添加镂空,分析其结构尺寸(即镂空的长度、宽度、厚度以及数量)与压电振子固有频率和开路输出电压之间的关系,并通过调节其结构尺寸,使压电能量采集器具有更低的振动频率与更高的开路输出电压。实验结果表明,在镂空长度为200 μm,宽度为165 μm,数量为12时,该结构振子的固有频率可达到399.7 Hz,开路输出电压可达0.271 V。
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| 关 键 词： | 能量采集器 矩形悬臂梁 固有频率 开路输出电压 |
A New Hollowed-Out Piezoelectric Cantilever Beam Energy Harvester Based on the MEMS |
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| LUO Yuan,WAN Shalang,GAN Ruyi and WANG Xinglong.A New Hollowed-Out Piezoelectric Cantilever Beam Energy Harvester Based on the MEMS[J].Microelectronics,2016,46(3):419-423, 428. |
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| Authors: | LUO Yuan WAN Shalang GAN Ruyi and WANG Xinglong |
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| Affiliation: | Institute of Optoelectronic Engineering, Chongqing University of Posts and Telecommunications, Chongqing 400065, P.R.China,Institute of Optoelectronic Engineering, Chongqing University of Posts and Telecommunications, Chongqing 400065, P.R.China,Institute of Optoelectronic Engineering, Chongqing University of Posts and Telecommunications, Chongqing 400065, P.R.China and Chongqing Pingwei Enterprise Co., Ltd., Chongqing 405200, P.R.China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Energy harvester Rectangular cantilever beam Inherent frequency Output voltage of open circuit |
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