| 大尺寸高密度ITO靶材烧结初期致密化过程研究 |
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| 引用本文： | 黄瑜佳,龙神峰,吴少平,方伟彬,蒋坤朋,朱归胜.大尺寸高密度ITO靶材烧结初期致密化过程研究[J].电工材料,2022(2):6-10. |
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| 作者姓名： | 黄瑜佳 龙神峰 吴少平 方伟彬 蒋坤朋 朱归胜 |
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| 作者单位： | 广西中沛光电科技有限公司,广西来宾 546100,电子信息材料与器件教育部工程研究中心,广西电子信息材料构效关系重点实验室,桂林电子科技大学,广西桂林 541004 |
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| 基金项目： | 广西重大科技专项;广西重点研发计划;科技助力经济重点专项;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | ITO 靶材 烧结法 致密化过程 |
Study on the Initial Densification Process of ITO Target Materials with Large Size and High Density |
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| HUANG Yujia,LONG Shenfeng,WU Shaoping,FANG Weibin,JIANG Kunpeng,ZHU Guisheng.Study on the Initial Densification Process of ITO Target Materials with Large Size and High Density[J].Electrical Engineering Materials,2022(2):6-10. |
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| Authors: | HUANG Yujia LONG Shenfeng WU Shaoping FANG Weibin JIANG Kunpeng ZHU Guisheng |
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