杜邦高性能弹性体推出KALREZ 8900部件

近期，在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上，杜邦高性能弹性体公司（DPE）重点推出专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez 8900全氟弹性体部件。Kalrez 8900部件实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命，减少了昂贵的设备停工时间，降低了设备拥有成本。