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| 硅锥场致发射力敏传感器的实验研究 | |
| 作者姓名： | 关辉 朱长纯 |
| 作者单位： | 辽宁宽甸晶体管厂，西安交通大学 教授 |
| 摘 要： | 本文介绍了硅锥阵列场致发射力敏传感器的基本原理和结构以及硅锥工艺,并对这种传感器的力敏相关参数的电特性进行了初步测试,获得了较为理想的结果。 |
| 关 键 词： | 硅锥阵列 场致发射 力敏传感器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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