| 激光声表面波的若干应用研究进展 |
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| 引用本文： | 沈中华,石一飞,严刚,袁玲,陆建,倪晓武. 激光声表面波的若干应用研究进展[J]. 红外与激光工程, 2007, 36(Z1) |
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| 作者姓名： | 沈中华 石一飞 严刚 袁玲 陆建 倪晓武 |
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| 作者单位： | 南京理工大学,理学院,江苏,南京,210094 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，南京理工大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 声表面波在其传播过程中能量主要集中在波长量级的表层内,因此主要受固体表层性质影响.而激光激发的声表面波在具有声表面波的一般特点的同时又具有激光超声的非接触、宽带、空间分辨率高等优点,因此可将其应用于表面残余应力检测,薄膜弹性性质表征及表面和亚表面缺陷检测等方面.文章简要地对激光声表面波在这些方面应用的原理及其研究进展情况作一介绍.
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| 关 键 词： | 激光声表面波 残余应力 薄膜弹性性质 缺陷 |
Progresses in the applications of laser induced surface acoustic waves |
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| SHEN Zhong-hua,SHI Yi-fei,YAN Gang,YUAN Ling,LU Jian,NI Xiao-WU. Progresses in the applications of laser induced surface acoustic waves[J]. Infrared and Laser Engineering, 2007, 36(Z1) |
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| Authors: | SHEN Zhong-hua SHI Yi-fei YAN Gang YUAN Ling LU Jian NI Xiao-WU |
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