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| 信息动态 | |
| 引用本文： | 王文忠.信息动态[J].电镀与环保,2016(6):53-54. |
| 作者姓名： | 王文忠 |
| 作者单位： | 洛阳立微电子有限公司,河南洛阳,471003 |
| 摘 要： | 0 前言
化学抛光可提高铜及其合金制件的光亮度.传统的化学抛光是在浓硫酸-硝酸-盐酸中进行的,其中硝酸的体积分数高达400～500 mL/L,抛光时有大量氮氧化物气体逸出,不仅严重污染环境,而且危害人体健康.多年来,许多同行探索低硝酸或无硝酸化学抛光工艺,即无黄烟化学抛光工艺,取得了成效.现对该工艺做简单介绍. |
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