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| 用多通道传感器测量薄膜厚度 | |
| 作者姓名： | 高(编译 |
| 摘 要： | 本发明提供一种用以分析薄膜特性的系统和方法。由于采用了具有多个探测通道的红外传感器和合适的滤光片,该系统能够瞬时探测干涉条纹的特征。该测量系统的工作步骤如下: |
| 关 键 词： | 红外传感器 测量系统 薄膜厚度 多通道 探测通道 薄膜特性 干涉条纹 滤光片 |
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