| 磁控溅射法制备Zn_(1-x)Co_xO薄膜的磁性能 |
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| 引用本文： | 林文松,欧阳辰鑫,何亮,王伟. 磁控溅射法制备Zn_(1-x)Co_xO薄膜的磁性能[J]. 材料科学与工程学报, 2009, 0(5) |
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| 作者姓名： | 林文松 欧阳辰鑫 何亮 王伟 |
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| 作者单位： | 上海工程技术大学材料工程学院; |
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| 基金项目： | 上海市教委科研创新资助项目(09YZ367); 上海市重点学科建设资助项目(J51402) |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射工艺,在玻璃基片上制备了Zn1-xCoxO(x=0.02~0.15)稀磁半导体薄膜。采用X-射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)、振动样品磁强计(VSM)研究了薄膜的相结构、化学成分及价态、表面形貌和磁性能。结果表明,本实验条件下,薄膜不存在Co及Co的氧化物相,薄膜中Zn的化学价为+2,Co则以+2和+4价的形式存在;薄膜晶体结构为c轴取向生长的六方纤锌矿结构;薄膜表面平整致密。在温度为300 K时,Zn0.9Co0.1O薄膜呈铁磁效应,在M-H曲线中观测到明显的磁滞回线特征。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 稀磁半导体 Zn1-xCoxO 磁性 |
Magnetic Properties of Zn_(1-x)Co_xO Films Prepared by Magnetron Sputtering Process |
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| LIN Wen-song,OUYANG Chen-xin,HE Liang,WANG Wei. Magnetic Properties of Zn_(1-x)Co_xO Films Prepared by Magnetron Sputtering Process[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2009, 0(5) |
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| Authors: | LIN Wen-song OUYANG Chen-xin HE Liang WANG Wei |
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| Affiliation: | LIN Wen-song,OUYANG Chen-xin,HE Liang,WANG Wei(College of Materials Engineering,Shanghai University of Engineering , Science,Shanghai 201620,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering diluted magnetic semiconductor Zn_(1-x)Co_xO magnetic property |
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