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| 微悬臂梁非制冷红外探测器的研究 | |
| 作者姓名： | 刘海涛 陈永平 梁平治 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 |
| 摘 要： | 摘要本文介绍基于标准硅工艺的非制冷红外探测器的设计和建造。由于氮化硅和金的热膨胀系数有很大的差别，用这两种材料做成的双材料片在红外辐射下会发生热弯曲。用偏振光对弯曲程度进行检测，在CCD上呈现偏振光的干涉图案。它完全消除了由电路引入的噪声。目前能够实现的噪声等效温差(NEDT)在1K左右，但其理论值仅为几mK。 |
| 关 键 词： | 微悬臂梁 红外 非制冷焦平面 光机械 |
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