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| ZrO2电解质陶瓷与Al的阳极键合连接机理分析 | |
| 引用本文： | 刘翠荣,孟庆森,鲁小莹,刘子建.ZrO2电解质陶瓷与Al的阳极键合连接机理分析[J].机械工程学报,2008,44(5):114-118. |
| 作者姓名： | 刘翠荣 孟庆森 鲁小莹 刘子建 |
| 作者单位： | 1. 太原理工大学材料科学与工程学院,太原,030024;太原科技大学材料科学与工程学院,太原,030024 2. 太原理工大学材料科学与工程学院,太原,030024 3. 太原科技大学材料科学与工程学院,太原,030024 |
| 摘 要： | 在一定连接工艺参数下,进行ZrO2电解质陶瓷与Al的阳极键合工艺试验,并在万能电子材料试验机上对ZrO2电解质陶瓷与Al的阳极键合连接接头进行剪切强度试验.采用扫描电镜、超轻元素能谱仪及X射线衍射仪分析连接界面微观组织、成分分布、界面相结构及剪切断口.试验结果表明,ZrO2的表面活化处理提高了ZrO2/Al的连接性,结合界面在阳极键合条件下形成高的氧离子迁移率及静电场力是促进结合的主要因素;过渡区ZrO2-SiO2-Al2O3 的多界面固相反应是结合形成的主要原因;ZrO2/Al接头的剪切断裂位置位于ZrO2与过渡区的结合界面,启裂区位于ZrO2的近界面区,扩展并终断于Al与过渡区界面;终断区断口形貌表明Al/过渡区界面具有较高的接合质量. |
| 关 键 词： | ZrO2导电陶瓷 铝 阳极键合 连接界面 微观结构 连接机理 |
| 修稿时间： | 2007年5月26日 |
Anodic Bonding Mechanism of ZrO2 Electrolyte Ceramics and Al |
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| LIU Cuirong,MENG Qingsen,LU Xiaoying,LIU Zijian.Anodic Bonding Mechanism of ZrO2 Electrolyte Ceramics and Al[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2008,44(5):114-118. | |
| Authors: | LIU Cuirong MENG Qingsen LU Xiaoying LIU Zijian |
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