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| 公司与产品介绍 | |
| 摘 要： | EVG公司是一家生产用于加工领先微结构与晶圆的全球设备供应商。这些设备是生产高附加值的微器件所必需的。她的工艺解决方案是基于高速发展的微系统与半导体技术、纳米及生物技术、医学、通讯、航空器件等领域而提出的。丰富的产品系列包括:光刻系统、圆片键合设备、涂胶机、显影机、清洗机、监测系统,以及热压和纳米压印系统。EVG公司在用于工业大批量生产的微机械电子和绝缘硅圆片键合设备市场占有统治地位。其绝缘硅键合设备已经成为业界的标准。公司还为大至300mm的绝缘硅键合工业大批量生产提供独特的技术。EVG公司的绝缘硅键合设… |
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