| 谐振式微机械惯性传感器 |
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| 引用本文： | 樊尚春,肖志敏,张庆荣.谐振式微机械惯性传感器[J].计测技术,2005,25(2):1-4,45. |
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| 作者姓名： | 樊尚春 肖志敏 张庆荣 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学,仪器学院测控系,北京,100083;北京航空航天大学,仪器学院测控系,北京,100083;北京航空航天大学,仪器学院测控系,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50275009)，航空科学基金资助项目(02I51018) |
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| 摘 要： | 对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述，分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性，必有广阔的应用和发展前景。
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| 关 键 词： | 谐振式 微机械惯性传感器 加速度微传感器 微陀螺 |
The Overview of Resonant Micro Inertial Sensors |
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| FAN Shang-chun,XIAO Zhi-min,ZHANG Qing-rong.The Overview of Resonant Micro Inertial Sensors[J].Metrology & Measurement Technology,2005,25(2):1-4,45. |
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| Authors: | FAN Shang-chun XIAO Zhi-min ZHANG Qing-rong |
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| Abstract: | This paper chiefly describes the structure, operational principle of several typical resonant acceleration microsensors and microgyroscopes, and analyzes their application features. It can be shown that the resonant micro inertial sensors have excellent characteristics, spacious application and development prospect. |
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| Keywords: | resonant micro inertial sensor acceleration microsensor microgyroscope |
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