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MBE生长InGaAs/GaAs(001)多层矩阵式量子点
引用本文:周清,刘珂,罗子江,郭祥,周勋,丁召.MBE生长InGaAs/GaAs(001)多层矩阵式量子点[J].功能材料,2013,44(8):1128-1131.
作者姓名:周清  刘珂  罗子江  郭祥  周勋  丁召
作者单位:1. 贵州大学理学院,贵州贵阳,550025
2. 贵州大学理学院,贵州贵阳550025;贵州财经大学教育管理学院,贵州贵阳550004
3. 贵州师范大学物理与电子科学学院,贵州贵阳,550001
基金项目:教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目,国家自然科学基金资助项目,贵州大学研究生创新基金资助项目
摘    要:用分子束外延(MBE)设备以Stranski-Krastanov(S-K)生长模式,通过间歇式源中断方式外延生长了多个周期垂直堆垛的InGaAs量子点,首次获得大小及密度可调的In0.43Ga0.57As/GaAs(001)矩阵式量子点DWELL结构。样品外延结构大致为500nm的GaAs、多个周期循环堆垛InGaAs量子点和60ML的GaAs隔离层等。生长过程中用反射式高能电子衍射仪(RHEED)实时监控,样品经退火后使用扫描隧道显微镜(STM)进行表面形貌的表征。

关 键 词:InGaAs量子点  分子束外延  垂直堆垛  DWELL结构

Fabrication of InGaAs quantum dot 2D-arrays on GaAs(001) by MBE
ZHOU Qing,LIU Ke,LUO Zi-jiang,GUO Xiang,ZHOU Xun,DING Zhao.Fabrication of InGaAs quantum dot 2D-arrays on GaAs(001) by MBE[J].Journal of Functional Materials,2013,44(8):1128-1131.
Authors:ZHOU Qing  LIU Ke  LUO Zi-jiang  GUO Xiang  ZHOU Xun  DING Zhao
Affiliation:1(1.College of Science,Guizhou University,Guiyang 550025,China; 2.School of Physics and Electronics Science,Guizhou Normal University,Guiyang 550001,China; 3.School of Education Administration,Guizhou University of Finance and Economics,Guiyang 550004,China)
Abstract:
Keywords:
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